نتیجه عالی Pvd بازیکن کلیدی را در سلول های Topcon جذب کرده است

علاوه بر اینکه PVD بدون بسته بندی، مزایای دیگری مانند توان عملیاتی بالا و OpEx پایین را برای پردازش سلول های خورشیدی TOPCon به ارمغان می آورد.
CapEx بالاتر و چاپ پا از نقاط ضعف این فناوری هستند
طبق گزارش TaiyangNews TOPCon Solar Cell Report 2021، Jietai تنها شرکتی است که محصول تجاری مبتنی بر PVD را برای TOPCon ارائه می دهد، در حالی که Polar PV و Von Ardenne نیز روی محصولات کار می کنند.

هر گونه فناوری جایگزینی رسوب به LPCVD برای برنامه های TOPCon بدون پوشش است. و در مورد رسوب بخار فیزیکی (PVD) نیز چنین است، مسیری که چند فروشنده تجهیزات و همچنین تولیدکنندگان آن را دنبال می کنند. این فناوری از توان عملیاتی بسیار بالا، تعمیر و نگهداری کم (در مقایسه با LPCVD) و هزینه های عملیاتی پشتیبانی می کند، اما چاپ پا و حجم نسبتاً بالاتر در طرف مقابل هستند.

بیشتر از PVD: Jietai چین یک پلتفرم فناوری ترکیبی به نام POPAID ایجاد کرده است که اساساً PVD و اکسیداسیون پلاسما را برای رفع کاستی‌های فناوری‌های رسوب‌گذاری غالب برای TOPCon ترکیب می‌کند (منبع: Jietai)

از نظر فنی تحت رده PVD، مستقر در چین قرار دارد جیتای ترجیح می دهد که فناوری آن POPAID نامیده شود که مخفف عبارت Plasma Oxidation و Plasma Assisted In-situ Doping است. در واقع، این فناوری بیشتر از PVD است. PVD و اکسیداسیون پلاسما را در یک پلت فرم ابزار ترکیب می کند. Jiangsu Jietai Photoelectric Corp LTD (Jietai) حدود یک دهه است که روی تامین تجهیزات خورشیدی کار می کند و تمرکز اولیه خود را بر روی حکاکی خشک ابزارهایی که عمدتاً برای چند کریستالی طراحی شده اند. در سال 2019، این شرکت کار بر روی راه حل مبتنی بر PVD خود را با هدف رفع کاستی های سایر فناوری های رسوب گذاری، به ویژه پوشش، آغاز کرد. ابزار این شرکت تمام مراحل لازم را برای TOPCon انجام می دهد - تشکیل اکسید تونل زنی، رسوب پلی سیلیکون و دوپینگ درجا.

این شرکت از منبع پلاسمای خطی RF برای اکسیداسیون استفاده می‌کند، که به گفته مدیرعامل Jietai Quanyuan Shang از توان عملیاتی بالاتر، آسیب کم و درجه کنترل بالاتری پشتیبانی می‌کند. توان عملیاتی راکتورها به اندازه ویفر حساس است. می تواند 10,000 ویفر G1 را در ساعت پردازش کند که در هنگام پردازش ویفرهای M8,000 به 10 کاهش می یابد. شانگ گفت: «هدف این است که با دو خط موازی (ماشین‌ها) 1 گیگاوات به دست آوریم. این توان با ضخامت لایه پلی سیلیکون 100 نانومتر است. همانطور که می توان انتظار داشت، چنین سیستمی بسیار طولانی است و طول آن 23 متر است. این ابزار یک چرخه تعمیر و نگهداری برنامه ریزی شده 1 ماهه دارد که شرکت انتظار دارد تا 2 ماه طول بکشد. Jietai شریک تجهیزات Jolywood برای فناوری J-TOPCon 2.0 است که مبتنی بر POPAID است. جیتای تاکنون یک ابزار تولیدی ساخته است و انتظار دارد تا پایان سال جاری ابزارهای POPAID 5 گیگاواتی را به طور عمده به Jolywood ارسال کند. شانگ گفت: "ما برای امسال تقریباً فروخته شده ایم." این شرکت در حال افزایش امکانات تولید خود است، به این معنی که در سال آینده به سفارش های دیگران احترام می گذارد.

PV قطبی به نظر می رسد از نزدیک طراحی راکتور Jietai را دنبال می کند و سال گذشته سیستم PVD کندوپاش عمودی مگنترون درون خطی خود را در کنفرانسی ارائه کرد. این ابزار برای پردازش یک حامل با 60 اسلات سلولی در پیکربندی 6×10 با زمان چرخه 40 تا 50 ثانیه طراحی شده است. این ابزار برای انجام تمام مراحل لازم برای فرآیند TOPCon طراحی شده است. استفاده از فیلم اکسید سیلیکون، با رسوب لایه پلی سیلیکونی دوپ شده در محل. حتی در این صورت تعداد مراحل پردازش در مقایسه با LPCVD به میزان قابل توجهی کاهش می یابد. راه اندازی راکتور مجهز به محفظه اکسیداسیون پلاسمای اکسیژن کم انرژی برای تشکیل اکسید تونل زنی در محیط پلاسمای گاز خالص است. منبع یونیزاسیون نیز بدون تعمیر و نگهداری است. لایه سیلیکونی آمورف که با استفاده از اهداف سیلیکونی دوار و دوپینگ درجا رسوب می‌کند، با معرفی گاز دوپینگ انجام می‌شود.

PVD دارای چندین مزیت نسبت به LPCVD فعلی است. با توجه به Polar PV اولین و مهمترین مورد، هزینه کم عملیات و نگهداری کم است. این صرفه جویی در هزینه از این واقعیت ناشی می شود که این فرآیند شامل کوارتز افزار نمی شود، که محرک اصلی هزینه برای فرآیند LPCVD است. علاوه بر این، به عنوان یک فرآیند یک طرفه، بسته بندی مشکل کمتری می کند و به صرفه جویی در هزینه کمک می کند. ابزار PVD Polar PV از گذردهی حداکثر 10,000 ویفر در ساعت پشتیبانی می کند.

مصرف انرژی ابزار مهم دیگری برای کاهش هزینه ها در جایی که PVD می درخشد است. PV قطبی نشان می دهد که PVD 77٪ از انرژی را برای پوشش و 16٪ برای گرمایش مصرف می کند. در مقابل، این ارقام در مورد CVD به ترتیب 34 و 45 درصد است. این بدان معنی است که استفاده از انرژی در PVD به مراتب بهتر از CVD است، یعنی در جایی که اهمیت بیشتری دارد استفاده می شود.

PVD از نظر مواد مصرفی فرآیند نیز امتیاز بالایی دارد. از اهداف سیلیکونی استفاده می کند که بسیار ارزان تر از سیلان مورد استفاده به عنوان پیش ساز در LPCVD است. از طرف دیگر، PVD دارای CapEx بالا و ردپای بزرگتر است.

فون آردنبا چندین دهه تجربه در ساخت راکتورهای PVD، همچنین در حال توسعه راه حل PV TOPCon بر اساس این فناوری است. راه‌حل شرکت آلمانی برای تماس‌های غیرفعال مبتنی بر کندوپاش کردن سیلیکون آمورف روی اکسید سیلیکون است - هنوز در مرحله توسعه است، اما با این وجود نتایج اولیه دلگرم‌کننده‌ای دارد. پس از آماده شدن، فون آردن قصد دارد این فرآیند را بر روی پلتفرم ابزارهای PVD با کارایی بالا، که در حال حاضر قادر به پردازش بیش از 10,000 ویفر در ساعت است، پیاده‌سازی کند.

از آنجایی که امروزه کارخانجات صنعت خورشیدی هنوز سلول‌های PERC هستند، TaiyangNews یک کنفرانس مجازی در مورد فشار دادن سلول‌های PERC به محدودیت‌های آن در 22 مارس 2022 ترتیب خواهد داد.

منبع از تایانگ نیوز