- रैपअराउंड मुक्त होने के अतिरिक्त, पीवीडी अन्य लाभ भी प्रदान करता है जैसे कि TOPCon सौर कोशिकाओं के प्रसंस्करण के लिए उच्च थ्रूपुट और कम ओपेक्स
- उच्च पूंजी व्यय और फुट प्रिंट इस प्रौद्योगिकी के नकारात्मक पक्ष हैं
- ताइयांगन्यूज टॉपकॉन सोलर सेल रिपोर्ट 2021 के अनुसार, जिताई एकमात्र कंपनी है जो टॉपकॉन के लिए पीवीडी पर आधारित एक वाणिज्यिक उत्पाद पेश कर रही है, जबकि पोलर पीवी और वॉन आर्डेन भी उत्पादों पर काम कर रहे हैं
TOPCon अनुप्रयोगों के लिए LPCVD के लिए कोई भी वैकल्पिक जमाव तकनीक मुफ़्त है। और यही बात भौतिक वाष्प जमाव (PVD) के मामले में भी लागू होती है, एक ऐसा तरीका जिसे कुछ उपकरण विक्रेता और निर्माता अपना रहे हैं। यह तकनीक बहुत उच्च थ्रूपुट, कम रखरखाव (LPCVD की तुलना में) और परिचालन लागत का समर्थन करती है, लेकिन इसके विपरीत अपेक्षाकृत अधिक फ़ुट प्रिंट और कैपेक्स हैं।

पी.वी.डी. से अधिक: चीन की जिताई ने पीओपीएआईडी नामक एक हाइब्रिड प्रौद्योगिकी प्लेटफॉर्म विकसित किया है, जो कि पी.वी.डी. और प्लाज्मा ऑक्सीकरण को संयोजित करता है, ताकि टी.ओ.पी.सी.ओ.एन. के लिए प्रचलित निक्षेपण प्रौद्योगिकियों की कमियों को दूर किया जा सके। (स्रोत: जिताई)
तकनीकी रूप से पीवीडी श्रेणी के अंतर्गत आने वाला, चीन-आधारित जिताई जियांगसू जिएताई फोटोइलेक्ट्रिक कॉर्प लिमिटेड (जिएताई) पिछले एक दशक से सोलर उपकरण आपूर्ति पर काम कर रहा है, जिसका प्रारंभिक फोकस इस पर है सूखी नक्काशी मुख्य रूप से मल्टीक्रिस्टलाइन के लिए डिज़ाइन किए गए उपकरण। 2019 में, कंपनी ने अन्य जमाव तकनीकों, विशेष रूप से रैपअराउंड की कमियों को दूर करने के उद्देश्य से अपने PVD आधारित समाधान पर काम करना शुरू किया। कंपनी का उपकरण TOPCon के लिए सभी आवश्यक कदम उठाता है - टनलिंग ऑक्साइड का निर्माण, पॉलीसिलिकॉन जमाव और इन-सीटू डोपिंग।
कंपनी ऑक्सीकरण के लिए रैखिक आरएफ प्लाज्मा स्रोत का उपयोग करती है, जो जिताई के सीईओ क्वानयुआन शांग के अनुसार उच्च थ्रूपुट, कम क्षति का समर्थन करता है और उच्च स्तर का नियंत्रण प्रदान करता है। रिएक्टरों का थ्रूपुट वेफर के आकार के प्रति संवेदनशील है; यह प्रति घंटे 10,000 G1 वेफर्स को संसाधित कर सकता है, M8,000 वेफर्स को संसाधित करते समय 10 तक गिर जाता है। शांग ने कहा, "लक्ष्य दो समानांतर लाइनों (मशीनों) के साथ 1 गीगावॉट प्राप्त करना है, इस तरह हमने उपकरण का आकार तय किया है।" यह थ्रूपुट 100 एनएम की पॉलीसिलिकॉन परत की मोटाई पर है। जैसा कि कोई उम्मीद कर सकता है, ऐसा सिस्टम काफी लंबा है, जिसकी लंबाई 23 मीटर है जिताई ने अब तक एक उत्पादन उपकरण बनाया है और इस साल के अंत तक 1 गीगावाट के POPAID उपकरण मुख्य रूप से जोलीवुड को भेजने की उम्मीद कर रहा है। शांग ने कहा, "इस साल के लिए हमारे पास लगभग सभी उपकरण बिक चुके हैं।" कंपनी अपनी उत्पादन सुविधा को बढ़ा रही है, जिसका मतलब है कि वह अगले साल दूसरों के ऑर्डर का सम्मान करेगी।
ध्रुवीय पी.वी. ऐसा लगता है कि यह जिताई के रिएक्टर डिजाइन का करीब से अनुसरण करता है और पिछले साल एक सम्मेलन में इसने अपनी इनलाइन वर्टिकल मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग पीवीडी प्रणाली प्रस्तुत की थी। उपकरण को 60 से 6 सेकंड के चक्र समय के साथ 10 x 40 विन्यास में 50 सेल स्लॉट वाले वाहक को संसाधित करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। उपकरण को TOPCon प्रक्रिया के लिए सभी आवश्यक चरणों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है; सिलिकॉन ऑक्साइड फिल्म को लागू करना, इन-सीटू डोप्ड पॉलीसिलिकॉन परत जमाव के साथ सबसे ऊपर। तब भी प्रसंस्करण चरणों की संख्या LPCVD की तुलना में काफी कम हो जाती है। रिएक्टर सेटअप एक शुद्ध गैस प्लाज्मा वातावरण में टनलिंग ऑक्साइड के निर्माण के लिए कम ऊर्जा वाले ऑक्सीजन प्लाज्मा ऑक्सीकरण कक्ष से सुसज्जित है। आयनीकरण स्रोत भी रखरखाव मुक्त है
मौजूदा LPCVD की तुलना में PVD के कई फायदे हैं। पोलर PV के अनुसार, सबसे पहला और सबसे महत्वपूर्ण लाभ है संचालन की कम लागत और कम रखरखाव। यह लागत बचत इस तथ्य से उपजी है कि इस प्रक्रिया में क्वार्ट्ज-वेयर शामिल नहीं है, जो LPCVD प्रक्रिया के लिए एक प्रमुख लागत चालक है। इसके अलावा, एक तरफा प्रक्रिया होने के कारण, रैपअराउंड एक समस्या कम हो जाती है, जिससे लागत बचत में और मदद मिलती है। पोलर PV का PVD उपकरण प्रति घंटे 10,000 वेफ़र तक के थ्रूपुट का समर्थन करता है।
ऊर्जा की खपत लागत कम करने का एक और महत्वपूर्ण साधन है, जहाँ PVD सबसे कारगर है। पोलर PV इस बात पर प्रकाश डालता है कि PVD 77% ऊर्जा का उपयोग कोटिंग के लिए और 16% हीटिंग के लिए करता है। इसके विपरीत, CVD के मामले में ये आँकड़े क्रमशः 34% और 45% हैं। इसका मतलब यह है कि PVD में ऊर्जा का उपयोग CVD से कहीं बेहतर है, यानी इसका उपयोग वहाँ किया जाता है जहाँ इसकी अधिक आवश्यकता होती है।
प्रक्रिया उपभोग्य सामग्रियों के मामले में भी PVD का स्कोर उच्च है। इसमें सिलिकॉन टारगेट का उपयोग किया जाता है जो LPCVD में अग्रदूत के रूप में उपयोग किए जाने वाले सिलेन की तुलना में बहुत सस्ता है। दूसरी ओर, PVD में उच्च CapEx और बड़ा पदचिह्न है।
वॉन आर्डेन, PVD रिएक्टर बनाने में कई दशकों के अनुभव के साथ, इस तकनीक पर आधारित एक TOPCon PV समाधान भी विकसित कर रहा है। निष्क्रिय संपर्कों के लिए जर्मन कंपनी का समाधान सिलिकॉन ऑक्साइड पर अनाकार सिलिकॉन के स्पटरिंग पर आधारित है - अभी भी विकास के चरण में है, लेकिन फिर भी इसके पहले परिणाम उत्साहजनक हैं। एक बार तैयार होने के बाद, वॉन आर्डेन ने अपने उच्च-थ्रूपुट PVD उपकरण प्लेटफ़ॉर्म पर इस प्रक्रिया को लागू करने की योजना बनाई है, जो वर्तमान में प्रति घंटे 10,000 से अधिक वेफ़र्स को संसाधित करने में सक्षम है।
चूंकि आज भी सौर उद्योग का मुख्य आधार पीईआरसी सेल ही हैं, इसलिए ताइयांगन्यूज 22 मार्च, 2022 को पीईआरसी सेल को उसकी सीमाओं तक बढ़ाने पर एक वर्चुअल सम्मेलन आयोजित करेगा।
स्रोत द्वारा ताइयांग समाचार